ナノエレクトロニクス材料ユニット
ナノスケール材料部門（MANA） ナノマテリアル分野

現在の集積回路は大きな転換点にあります。これまでの集積回路では、AlやSiO₂に代表されるSiと親和性の高い材料を使い、構造で機能を実現してきましたが、微細化とともに構造も複雑化し、微細化の限界に達しています。一方で今後の集積回路は、材料による機能発現と微細化、さらに低消費電力による動作が求められています。

集積回路は多様な材料の集合体で、多様な界面から構成されます。当ユニットでは、high-k材料やメタルゲートに代表されるゲートスタック材料の開発、光電子分光、材料中の欠陥の視覚化など、ユニットのもつ特徴ある計測技術を使用してナノエレクトロニクスのための要素技術の開発を進めます。さらに有機分子とSiデバイスの分野融合なども進め、新しい機能性デバイス開発にも挑戦します。